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自己换算 无尘室洁净度分级

2012-08-30 08:26:31    上一篇[返回首页]    [打印]    [返回上页]     下一篇

半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在无尘室内进行,集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资,多因为需要一个无尘室。

   所谓的无尘室是一个人造的环境,风淋室洁净工作台FFU净化工程洁净棚净化设备洁净设备
里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。

   由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

 


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