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层流罩(FFU)的发展及应用

2013-08-01 08:58:35    上一篇[返回首页]    [打印]    [返回上页]     下一篇

在二十世纪六十年代,第一个层流室的建立就已经开始出现FFU的应用了。但直到1984年,在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位。

    第一:噪声问题。各位可以想一想,在当时的生产工艺水平下,5000台风机在一起的噪声会是多大呢?
    第二:压力平衡。在很大的静压箱里,每一个不同角落的风机是否能得到均衡的压力,这在当时也是不能够得到保证的。
    第三:维护问题。FFU层流罩本身造价就比较高,如果它的电机寿命不能保证的话,更换又会带来附加投资。这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。
    但是这一切,在1984年都发生了改变。首先是噪声问题得到了控制,大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65DBA以下,这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展,监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。最后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。
    现在,随着半导体电子技术的发展,越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。  
    第一、灵活性。因为
FFU层流罩是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,
FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
    第二、可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
    第三、负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
    第四、缩短建设周期。使用FFU层流罩省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大早的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
    第五、减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。
    风机过滤单元/层流送风单元/FFU/空气过滤单元/空气过滤机/百级层流罩统称:层流罩
   1 FFU及其性能
FFU是FAN FILTERUNIT的缩写,中文称作“风机过滤器单元”也就是将风机和过滤器(高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA))组合在一起构成自身能提供动力的末端净化设备。过去在洁净工程中常用的带风机的高效过滤器的送风口,自净器,层流罩等都是FFU的一种。不过,现在所说的FFU是具有标准模数尺寸,能按模数组合起来实现1级、10级、100级、1000级等不同级别的洁净室的净化单元设备。目前,国内、外常用的模数有1200X6mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X 3英尺)、1200X1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mlTl。
    FFU一般由以下四部分组成:风机、过滤器、机壳、电器控制元件。
   2 FFU的选择
   (1)FFU机组内的高效过滤器的初阻力均不相同,大约在120—150Pa之间。
   (2)当高效过滤器为初阻力,且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时,不同FFU的机外余压均在100Pa左右,有的高达130Pa。
   当FFU送风断面风速为0.45m/s时,各机组的机外余压,都能在60Pa以上。
   当FFU送风断面风速为0.45m/s时,被测的FFU层流罩的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。
   (3)FFU的声压级噪声大多在57dB(A)~59dB(A)之间。比较好的品牌其噪声在54dB(A)。
   (4)各不同晶牌的FFU的能耗大多在160~180W,只有个别品牌的能耗大,高达350W是一般能耗的一倍。


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