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FFU在洁净室中的应用<1>

2013-09-14 09:25:58    上一篇[返回首页]    [打印]    [返回上页]     下一篇

FFU在洁净室中的应用

随着科学技术的日新月异,尤其是军事工业、航天、电子和生物医药等工业的发展,促使洁净技术的发展也随之突飞猛进,对FFU的需求也越来越大。本文重点阐述了FFU的特点及控制方式,并结合现代电子洁净室对空气洁净度等级的要求;分析了FFU应用在洁净室中的优势,并介绍了FFU在实际工程案例中的应用。

  关键词:FFU DC干盘管洁净室空气洁净度等级

  随着科学技术的日新月异,尤其是军事工业、航天、电子和生物医药等工业的发展,促使洁净技术的发展也随之突飞猛进。现代化工业产品生产和现代化科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。电子计算机就是微型化产品中最具代表性的产品之一,电子管到半导体分离器件到集成电路再到超大规模集成电路。特别是20世纪80年代大规模集成电路和超大集成电路的迅速发展,大大促进洁净技术的发展。

  一、概念及原理

  Fan Filter Unit(风机过滤单元机组)简称FFU,是由高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA)、微型风机、壳体组合而成的净化空调末端,其用于乱流及层流洁净室内。FFU通常都是与吊顶骨架配合使用,根据吊顶骨架的不同选择与之对应的FFU。FFU的洁净方式可以实现空气洁净度等级要求在ISO3∽ISO9(即1级∽100万级)之间的洁净室。

  常见的洁净室空气处理方式有两种,分别是MAU+AHU+HEPA(以下简称AHU系统)和MAU+FFU+DC干盘管(以下简称FFU系统)。通过对两种方式的比较得出:FFU在净化空调系统中充当了净化循环机组,洁净室的循环风量等于洁净室内FFU的风量总和。洁净室的空气是由FFU从洁净天花夹层中送进洁净室内,并通过回风夹道将循环空气再送回到天花夹层;循环空气在通过回风夹道时与安装在夹道中的DC干盘管进行热量交换。

  二、特点及应用

  FFU的特点:低能耗、低噪音、方便灵活、节约空间、易安装。

  低能耗:从FFU的组成部件来看,需要消耗能量的只有微型风机,而微型风机的功率一般都是在110w∽190w之间,虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。通常洁净室的循环风量是很大的,以面积为100m2、洁净室内高为3m、空气洁净度等级要求为ISO6(即1000级)的洁净室为例:《洁净厂房设计规范(GB500073—2001)》规定空气洁净等级为ISO6的洁净室的换气次数为50∽60次/h。我们在这里取换气次数为55次/h,FFU则总循环风量为16500CMH,补新风量我们取3000CMH。

  方案1AHU系统中:MAU的全压损失为700Pa,功率为2.2kw;AHU的全压损失为1300Pa,功率为15kw;整个系统的总功率为17.2kw。

  方案2FFU系统中:MAU的全压损失为800Pa,功率为2.2kw;FFU规格为1200×600,风量1200CMH)有14个,单个FFU的功率为190W,FFU总功率为2.66kw;整个系统的总功率为4.86kw。 

  通过对方案1、2的功率比较,我们得出一个结论:FFU在系统充当循环风柜和高效过滤器的集合体,而且其消耗的功率远比循环风柜AHU功率的要小,符合现在大力提倡节约型社会的主题,并给厂方在节约生产成本方面找到一个新的方向。

  低噪音:《中户人民共和国国家标准城市区域噪声标准》规定:工业区FFU昼间65db(A)、夜间55db(A)。目前市场上风机的噪音值一般是在65∽90db(A),有的甚至会达到100db(A)以上,如果采用AHU系统就很容易噪声超标,造成噪声污染。而FFU的噪音值一般是在45∽55db(A),这样就不会担心其噪声会超标。

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