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洁净室净化空调设计特色

2012-10-10 09:31:08    上一篇[返回首页]    [打印]    [返回上页]     下一篇

洁净室的空调除了必须满足产品需求的温湿度条件外,对工作者的舒适度和空气洁净度等度均必须顾虑到,其他如能源消耗、防震及噪音控制也是考虑因素。

洁净室的洁净度的能否维持在要求之规范内,空调系统扮演了主要的角色,因而KLC洁净室的空调系统有着与一般空调系统的不同特征,分述如下:

1.温湿度要求比一般空调低:一般空调系统温度要求在25∘~ 27℃间,相对湿度则在55~77%;而洁净室空调分别为22~23℃及40~45%,50~60%。

2.对空气质量要求较严格:一般空调除了温湿度要求是比洁净室空调较弹性外,在微尘粒子之过滤和Na离子之处理,洁净室空调均必须加以考虑要求。

3.恒温恒湿控制:由于制程产品制程对温,湿度变化的大小极为敏感,故在洁净室空调中部份区域须控制在±0.1℃和1~2%RH的范围内。

4.全外气量与换气次数大:在半导体工厂中,制程系统须使用大量的化学品和毒气,而这些化学品与气体所产生的些挥发气和废气必须予全数排除,故其排气量相当大,尤其是在化学工作站更甚,加上为维持空气之质量和安全,故半导体洁净室空调系统一般均不回风,而全以外界新鲜空气补R入系统中,故换气次数相对增加,方能符合温,湿度及洁净度等级的需求。

5.空调系统24小时全天候运转:半导体工厂,部份制程设备其对温,湿度的要求相当敏感如步进曝光机等光学仪器,些微的温,湿度变化均会造成设备的精准度偏差,另外芯片等产品也必须置放在定温定湿的环境下,加上工厂均是24小时轮班作业,故空调系统也必须24小时甚至可说是全年无休(除了电力工司停电外)运转,而一般空调则可视工作人员的上班状况机动调整,因此半导体空调负荷为一般空调的4~5倍。

6.气流分怖需均匀:洁净室空调为带走洁净室内所产生的微尘粒子,以维持洁净度,故除了气流速度须达一定之要求标准外,气流的形状也必须依不同的洁净室等级而加以适当的控制。

7.运转成本相当高:由于洁净室热负荷相当大,又是全外气供气,循环风量亦甚可观,故总加成之后的空调运转费用也水涨船高。不只是初期设备的投资成本高,日后的运转及维护费用也相当高,依据数据显示,半导体厂,单位面积的耗电量为6”晶圆厂:约1.35 Kw/m2,而8”厂则高达约1.9 Kw/m2 。除了以上的特性外,洁净室的空调须与邻室维持适当的压差:送风温度与室内温度差距小等亦均为其特性。

8.外气需要量计算:洁净室空调前已提及是以全外气供应,而外气需要量的多寡将受如下的因素所影响:(1)制程排气量;(2)间隙外泄量;(3)开门外泄量;(4)健康要求量。即外气需要量(Q1)≧制程设备排气量(q1)+间隙外泄量(q2)+开门外泄量(q3)外气需要量=排气量+10%排气量(泄漏量)+0.5%循环空气量≒8~10%循环空气量

9.空调箱(Air Handling Unit)之选择:设计及选择适当的空调箱及组合,将可收系统运转的良好效果。图为超洁净用空调箱系统图。

资料来源:http://www.zksjjh.com  风淋室


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