半导体产线局部百级升级｜中科圣杰模块化洁净棚
芯片光刻、晶圆键合、芯片封装、精密探针检测…… 半导体核心工序对微颗粒零容忍。0.1μm 细微粉尘即可造成晶圆断路、芯片批量报废，动辄百万级良品损失。
中科圣杰定制化模块化局部百级洁净棚应运而生，无需厂房大面积改造，在现有万 / 十万级车间内快速搭建独立 ISO5（百级）洁净孤岛，兼顾低成本、快交付、可移动、可重组，成为国内半导体工厂局部净化升级首选方案。
改造成本高、周期长
整车间升级百级洁净室需吊顶、风管、地坪全套土建，工期 3-6 个月，造价高昂；仅单台设备、单一工位需要高洁净，大面积改造造成资源浪费。
产线柔性不足，无法复用
传统固定洁净室结构不可拆卸，设备更新、工艺调整、产线搬迁后只能拆除重建，重复投入。
动态洁净度不稳，良率受损
普通简易净化单元气流紊乱、边缘漏风，人员走动、设备运转极易扰动气流，动态工况下粒子超标，芯片缺陷率居高不下。
运维繁琐、能耗偏高
老旧净化设备风机能耗大、无智能监测，压差、风速、滤网状态无法实时查看，人工巡检效率低。
遵循 GB 50073 洁净厂房规范、ISO14644-1 国际洁净标准、SEMI 半导体行业洁净管控要求，全模块化拼装结构，按需非标定制尺寸、洁净配置、防静电系统，精准匹配晶圆、封装、测试全工序需求。
洁净棚优势
中科圣杰集团模块化洁净棚
模块化极速搭建
全套标准化型材模块，铝型材 / 304 不锈钢双框架可选，卡扣式拼接，无需焊接、无需土建施工；
整体可拆卸、拆分重组，底部可选配静音万向脚轮，随产线调整自由移位，设备换代后完整复用，大幅降低长期净化投入成本。
稳定百级层流净化
核心 EC 智能 FFU 净化系统
搭载中科圣杰自研 PuriFan 无刷 EC 风机，节能 30% 以上，低噪≤40dB，适配 24 小时不间断生产；顶部均匀排布 FFU，搭配 H14/ULPA 超高效过滤器，0.3μm 颗粒过滤效率 99.995%，垂直单向层流 0.36-0.54m/s 均匀送风，快速带走悬浮粉尘，静态、动态双重工况稳定维持 ISO5 百级标准。
全密封防漏风结构
围壁可选防静电透明亚克力 / 防静电垂帘，型材接缝硅胶密封，杜绝外界含尘空气渗入；适配半导体防静电需求，整体表面低静电析出，避免静电击穿精密芯片元器件。
动态气流优化设计
针对半导体车间 AGV 通行、人员作业带来的气流扰动优化风道，缩短流场恢复时间，解决普通洁净棚粉尘堆积死角难题，有效将芯片工序缺陷率大幅降低。
✅ 多功能配套选配：压差在线监测系统、温湿度智能调控、洁净照明、传递窗、防静电接地、VOC 低析出材质、VHP 灭菌接口；
✅ 智能物联管控：可选配套 AIX-I 集中控制系统，远程监测 FFU 风速、滤网压差、洁净区粒子数据，超标自动报警，数据可溯源，满足工厂合规验厂需求；
✅ 材质分级可选：普通电子产线用工业铝型材；腐蚀、消毒频繁场景选用 304 不锈钢框架，光滑无积尘死角，擦拭消毒便捷。
上门勘测：工程师实地测量车间、设备尺寸，结合工艺洁净需求出具专属方案； 非标定制：框架、FFU 配置、围护材质、智能系统按需设计生产； 快速上门安装：全国多服务网点，西南成都分公司可快速响应西南半导体客户需求； 洁净度验收：完工提供粒子浓度、风速、压差全套检测，出具百级达标检测报告； 终身运维：滤网更换、设备检修、系统升级长效售后支持。
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